河野嗣男,朴松花

摘要(Abstract)：

表面粗糙度测量技术是精密工程学中一个典型的“既老又新”的问题.随着工业的发展,不断开发出各种新的测量设备,测量的精度和功能都有所提高.近几年来,随着光学表面粗糙度测量仪的使用,非接触式测量的优点得到重视.尤其是具有极高分辨力的STM(发送测试信息)技术的出现,使人们能够清晰地观察到原子级的凸凹表面。与此同时,被测对象日趋多样化.测量条件越来越苛刻,新的测量方法有其局限性和缺点,为此提出解决这些问题的方法。

关键词(KeyWords)： 表面粗糙度测量;光学测量

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 河野嗣男,朴松花

DOI: 10.16338/j.issn.1009-1319.1993.02.020

参考文献(References)：

• 精密工学会志,1991(5) :54～58